Gas Business Department

BSGS (Bulk Specialty Gas System)

产品特性

供应大容量（Y缸或燃气车）半导体用特殊气体的供应设备，紧急时通过自动紧急切断、灭火确保现场安全.

- 自动进给切换方式（Auto Change Type）
- Customization : 1 by 1 or 2 by 2 / Two Process train
- 基于PLC+Touch Screen的自动化系统（OMRON、AB、SIEMENS）
- Trailer、Tank Lorry、Ton/Y-Cylinder供应容器
- 200~2000SLPM (Max. FlowRate@N2Gas), 0.1~0.9MPa,¾” or 1” Tube Stub
- 可自定义所有警报
- 紧急停止（EMO），排气压力监控
- S-Mark安全认证，特定空压气安全认证（韩、中、美）
- 用于上位监视的通信支持
- 防爆认证（易燃），抗震设计（加热器规模7）

附加事项

Weight Scale / Heating Line
UVIR / Jacket Heater
High Temp Sensor / Valve Shutter