Gas Business Department

Gas Cabinet

产品特性

提供汽缸半导体用特殊气体的设备，紧急时通过自动紧急切断、灭火确保现场安全.

- 自动进给切换方式（Auto Change Type）
- 基于PLC+Touch Screen的自动化系统（OMRON、AB、SIEMENS）
- 49~54 Liter以下的供应容器，定制：1B/T~3B/T
- 30SLPM (Max. FlowRate@N2Gas), 0.1~0.9Mpa,¼” or½”Tube Stub
- Max. 2,500 psig (High pressure gases, ≥150 psig), Max. 150 psig (Low pressure gases, ≤ 150 psig)
- 可自定义所有警报
- 紧急停止（EMO），排气压力监控
- S-Mark安全认证，特定高压气体安全认证（韩、中、美）
- 防爆认证（易燃），抗震设计（加热器规模7）

附加事项

Weight Scale / Heating Line
UVIR/Jacket Heater
High Temp Sensor/Valve Shutter
Leak Detector/Lamp