Gas Business Department

VMB (Valve Manifold Box)

产品特性

半导体用特殊气体分配到各工序的设备，紧急时通过自动紧急切断、灭火确保现场安全.

- Inlet 1~2 & Outlet 4~12, Customization : 1x4~1x12 type
- 基于PLC+Touch Screen的自动化系统（OMRON、AB、SIEMENS）
- 操作和维护的所有方面都经过验证的自动化序列
- 1~100SLPM (Max.FlowRate@N2Gas), 0.1~0.68MPa,¼” or½”Tube Stub
- Design Pressure : Max. 150 psig (Low pressure gases, ≤ 150 psig)
- 紧急停止（EMO），DC Power Module 2 双层
- S-Mark安全认证，特定空压气安全认证（韩、中、美）
- 防爆认证（易燃），抗震设计（加热器规模7）

附加事项

Heating Line / UVIR
High Temp Sensor/Leak Detector
Lamp