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사업분야
무한한 꿈이라는 의지를 바탕으로 새로운 창조 기업을 지향하고 있습니다.
Liquid Chemicals Systems
BCD [PLDS-V1 100 and 200]
제품 특징
반도체 및 디스플레이 제조 공정에서 사용되는 화학물질을 안전하고,
안정적인 공급하는 Bulk 240L(55갤런) 이상 대형 리필 화학 공급 시스템
화학물질을 연속적으로 공급 및 누출 방지 및 이중 컨테인먼트 시스템
PLDS-VMB (Valve Manifold Box)
제품 특징
BCD에서 공급되어 다중 배분의 장비로 화학물질을 안전하고 안정적인 공급하기 위한
다중 배분 역할과 교차 오염 방지와 UHP(초고순도) 액체[화학물질] 분배하는 시스템
LDS [PLDS-V1]
제품 특징
Push gas 사용하여 Process canister에서 공정 Tool로 액상 케미컬(화학물질)을
일정 압력으로 공급하는 시스템
일정 Chemical Level을 유지(Bulk Canister로 Refill) 상시 공급
Bulk Canister의 Empty level 도달 시 Bulk Canister 교체하여 운영
- 정밀한 액체 제어: 유량 센서 및 밸브를 통해 공급량 조절
- 자동화 기능: PLC기반 자동화 컨트롤러 적용
- 공정 최적화: 퍼지(Purge) 및 청정 유지 기능 탑재
- 안전성 강화: 누출 감지, 긴급차단(EMO), Dual Canister(Bulk/Process)적용.
부대설비
Vacuum Pump
Scrubber Option
[Burn-Wet / Dry / Plasma-Wet]
