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사업분야
무한한 꿈이라는 의지를 바탕으로 새로운 창조 기업을 지향하고 있습니다.
Gas Cabinet
제품 특징
실린더의 반도체용 특수가스를 공급하는 장비로비상시 자동 긴급차단,
소화를 통해 현장의 안전성을 확보한다.
- 자동 공급전환 방식 (Auto Change Type)- PLC + Touch Screen 기반의 자동화 시스템
(OMRON, AB, SIEMENS)- 49~54 Liter 이하 공급용기, Customization: 1B/T~3B/T - 30SLPM (Max. Flow Rate@N2 Gas), 0.1~0.9Mpa, ¼” or ½”Tube Stub
- Max. 2,500 psig (High pressure gases, ≥150 psig), Max. 150 psig (Low pressure gases, ≤ 150 psig)
- 모든 알람에 대한 사용자 설정 가능- 비상정지 (EMO), 배기 압력 모니터링- S-Mark 안전인증
- 특정고압가스 안전인증(한,중,미)- 방폭 인증 (가연성), 내진설계 (리히터규모 7)
부가 사양
- Weight Scale / Heating Line
- UVIR/Jacket Heater
- High Temp Sensor/Valve Shutter
- Leak Detector/Lamp
BSGS (Bulk Specialty Gas System)
제품 특징
대용량(Y실린더 또는 가스차량)의 반도체용 특수가스를 공급하는 공급 장비로
비상시 자동 긴급차단, 소화를 통해 현장의 안전성을 확보한다.
- 자동 공급전환 방식 (Auto Change Type)
- Customization: 1 by 1 or 2 by 2 / Two Process train
- PLC + Touch Screen 기반의 자동화 시스템 (OMRON, AB, SIEMENS)
- Trailer, Tank Lorry, Ton/ Y-Cylinder공급용기
- 200~2000SLPM (Max. Flow Rate@N2 Gas), 0.1~0.9MPa, ¾” or 1” Tube Stub
- 모든 알람에 대한 사용자 설정 가능
- 비상정지 (EMO), 배기압력 모니터링
- S-Mark 안전인증, 특정공압가스 안전인증(한,중,미)
- 상위 감시용 통신 지원
- 방폭 인증(가연성), 내진설계 (리히터 규모 7)
부가 사양
- Weight Scale / Heating Line
- UVIR / Jacket Heater
- High Temp Sensor / Valve Shutter
VMB (Valve Manifold Box)
제품 특징
반도체용 특수가스를 각 공정으로 분배하는 장비로
비상시 자동 긴급차단, 소화를 통해 현장의 안전성을 확보한다.
- Inlet 1~2 & Outlet 4~12, Customization : 1x4~1x12 type - PLC + Touch Screen 기반의
자동화 시스템 (OMRON, AB, SIEMENS) - 작동 및 유지보수의 모든 측면에 대해 입증돤 자동화 시퀀스
- 1~100SLPM ( Max.Flow Rate@N2 Gas), 0.1~0.68MPa, ¼” or ½”Tube Stub
- Design Pressure: Max. 150 psig (Low pressure gases, ≤ 150 psig )
- 비상정지 (EMO), DC Power Module 2중화
- S-Mark 안전인증, 특정공압가스 안전인증(한,중,미)
- 방폭 인증(가연성), 내진설계 (리히터 규모 7)
부가 사양
- Heating Line / UVIR
- High Temp Sensor/Leak Detector
- Lamp
