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业务领域
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Liquid Chemicals Systems
BCD [PLDS-V1 100 and 200]
产品特点
适用于半导体及显示器制造工艺中使用的化学物质，是一种可安全且稳定供给的大容量240L（55加仑）以上的大型可再填充化学品供给系统。
具备连续供给化学品、防止泄漏以及双重容器系统（Double Containment System）等功能。
PLDS-VMB (Valve Manifold Box)
产品特点
本系统从BCD供给源引入，作为多通道分配设备，可实现化学物质的安全且稳定的供给，同时具备多通道分配功能、防止交叉污染，并可用于分配UHP（超高纯度）液体[化学物质]的系统
LDS [PLDS-V1]
产品特点
使用推送气体（Push Gas），将液态化学品（化学物质）从**工艺罐（Process Canister）以恒定压力供应至工艺设备（Tool）的系统。
通过大罐（Bulk Canister）补充，持续维持一定的化学品液位（Chemical Level），实现不间断供应
当**Bulk Canister达到空桶水平（Empty Level）时，更换Bulk Canister继续运行。
- 精密液体控制：通过流量传感器与阀门调节供给量
- 自动化功能：采用基于PLC的自动控制器
- 工艺优化：具备吹扫（Purge）与洁净维持功能
- 安全性增强：配备泄漏检测、紧急切断（EMO）、双罐结构（Bulk/Process）设计
附属设备
Vacuum Pump
Scrubber Option
[Burn-Wet / Dry / Plasma-Wet]
