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业务领域
IDS以无限的梦想为信念，致力于成为引领新时代创意的企业
Gas Cabinet
产品特性
提供汽缸半导体用特殊气体的设备，紧急时通过自动紧急切断、灭火确保现场安全.
- 自动进给切换方式（Auto Change Type）- 基于PLC+Touch Screen的自动化系统（OMRON、AB、SIEMENS）- 49~54 Liter以下的供应容器，定制：1B/T~3B/T
- 30SLPM (Max. FlowRate@N2Gas), 0.1~0.9Mpa,¼” or½”Tube Stub
- Max. 2,500 psig (High pressure gases, ≥150 psig), Max. 150 psig (Low pressure gases, ≤ 150 psig)
- 可自定义所有警报- 紧急停止（EMO），排气压力监控- S-Mark安全认证
- 特定高压气体安全认证（韩、中、美）- 防爆认证（易燃），抗震设计（加热器规模7）
附加事项
- Weight Scale / Heating Line
- UVIR/Jacket Heater
- High Temp Sensor/Valve Shutter
- Leak Detector/Lamp
BSGS (Bulk Specialty Gas System)
产品特性
供应大容量（Y缸或燃气车）半导体用特殊气体的供应设备，紧急时通过自动紧急切断、灭火确保现场安全.
- 自动进给切换方式（Auto Change Type）
- Customization: 1 by 1 or 2 by 2 / Two Process train
- PLC + Touch Screen 기반의 자동화 시스템 (OMRON, AB, SIEMENS)
- Trailer、Tank Lorry、Ton/Y-Cylinder供应容器
- 200~2000SLPM (Max. Flow Rate@N2 Gas), 0.1~0.9MPa, ¾” or 1” Tube Stub
- 可自定义所有警报
- 紧急停止（EMO），排气压力监控
- S-Mark安全认证，特定空压气安全认证（韩、中、美）
- 用于上位监视的通信支持
- 防爆认证（易燃），抗震设计（加热器规模7）
附加事项
- Weight Scale / Heating Line
- UVIR / Jacket Heater
- High Temp Sensor / Valve Shutter
VMB (Valve Manifold Box)
产品特性
半导体用特殊气体分配到各工序的设备，紧急时通过自动紧急切断、灭火确保现场安全.
- Inlet 1~2 & Outlet 4~12, Customization : 1x4~1x12 type - 基于PLC+Touch Screen的自动化系统（OMRON、AB、SIEMENS）
- 操作和维护的所有方面都经过验证的自动化序列
- 1~100SLPM ( Max.Flow Rate@N2 Gas), 0.1~0.68MPa, ¼” or ½”Tube Stub
- Design Pressure: Max. 150 psig (Low pressure gases, ≤ 150 psig )
- 紧急停止（EMO），DC Power Module 2 双层
- S-Mark安全认证，特定空压气安全认证（韩、中、美）
- 防爆认证（易燃），抗震设计（加热器规模7）
附加事项
- Heating Line / UVIR
- High Temp Sensor/Leak Detector
- Lamp
