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事業分野
無限の夢という意志を基盤として、新しい創造企業を目指しています。
Liquid Chemicals Systems
BCD [PLDS-V1 100 and 200]
製品特徴
半導体及びディスプレイ製造工程で使用される化学物質を安全で、
安定した供給するBulk 240L(55ガロン)以上大型リフィル化学供給システム
化学物質を連続的に供給及び漏洩防止及び二重コンテインメントシステム
PLDS-VMB (Valve Manifold Box)
製品特徴
BCDから供給され多分配の設備で 化学物質を安全で安定した供給するための
多分配役割と交差汚染防止とUHP(超高純度)液体[化学物質]分配するシステム
LDS [PLDS-V1]
製品特徴
Push gas使用してProcess canisterから工程Toolへ液状ケミカル(化学物質)を
一定圧力で供給するシステム
一定Chemical Levelを維持(Bulk CanisterでRefill) 常時供給
Bulk CanisterのEmpty level到達時Bulk Canister交換して運営
- 精密な液体制御: 流量センサー及びバルブを通じて供給量調節
- 自動化機能: PLC基盤自動化コントローラー適用
- 工程最適化: パージ(Purge)及び清浄維持機能搭載
- 安全性強化: 漏洩検知、緊急遮断(EMO)、Dual Canister(Bulk/Process)適用.
付帯設備
Vacuum Pump
Scrubber Option
[Burn-Wet / Dry / Plasma-Wet]
