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事業分野
無限の夢という意志を基盤として、新しい創造企業を目指しています。
Gas Cabinet
製品特徴
シリンダーの半導体用特殊ガスを供給する設備で、緊急時自動緊急遮断、
消火により現場の安全性を確保する。
- 自動供給切替方式 (Auto Change Type)- PLC + Touch Screen基盤の自動化システム
(OMRON, AB, SIEMENS)- 49~54 Liter以下供給容器、Customization: 1B/T~3B/T - 30SLPM (Max. Flow Rate@N2 Gas), 0.1~0.9Mpa, ¼" or ½"Tube Stub
- Max. 2,500 psig (High pressure gases, ≥150 psig), Max. 150 psig (Low pressure gases, ≤ 150 psig)
- 全てのアラームに対するユーザー設定可能- 緊急停止 (EMO)、排気圧力モニタリング- S-Mark安全認証
- 特定高圧ガス安全認証(韓、中、米)- 防爆認証 (可燃性)、耐震設計 (リヒター規模 7)
付加仕様
- Weight Scale / Heating Line
- UVIR/Jacket Heater
- High Temp Sensor/Valve Shutter
- Leak Detector/Lamp
BSGS (Bulk Specialty Gas System)
製品特徴
大容量(Yシリンダー又はガス車両)の半導体用特殊ガスを供給する供給設備で
緊急時自動緊急遮断、消火により現場の安全性を確保する。
- 自動供給切替方式 (Auto Change Type)
- Customization: 1 by 1 or 2 by 2 / Two Process train
- PLC + Touch Screen基盤の自動化システム (OMRON, AB, SIEMENS)
- Trailer, Tank Lorry, Ton/ Y-Cylinder供給容器
- 200~2000SLPM (Max. Flow Rate@N2 Gas), 0.1~0.9MPa, ¾" or 1" Tube Stub
- 全てのアラームに対するユーザー設定可能
- 緊急停止 (EMO)、排気圧力モニタリング
- S-Mark安全認証、特定高圧ガス安全認証(韓、中、米)
- 上位監視用通信支援
- 防爆認証(可燃性)、耐震設計 (リヒター規模 7)
付加仕様
- Weight Scale / Heating Line
- UVIR / Jacket Heater
- High Temp Sensor / Valve Shutter
VMB (Valve Manifold Box)
製品特徴
半導体用特殊ガスを各工程に分配する設備で
緊急時自動緊急遮断、消火により現場の安全性を確保する。
- Inlet 1~2 & Outlet 4~12, Customization : 1x4~1x12 type - PLC + Touch Screen基盤の
自動化システム (OMRON, AB, SIEMENS) - 動作及び保守の全ての側面に対して実証された自動化シーケンス
- 1~100SLPM ( Max.Flow Rate@N2 Gas), 0.1~0.68MPa, ¼" or ½"Tube Stub
- Design Pressure: Max. 150 psig (Low pressure gases, ≤ 150 psig )
- 緊急停止 (EMO)、DC Power Module 2重化
- S-Mark安全認証、特定高圧ガス安全認証(韓、中、米)
- 防爆認証(可燃性)、耐震設計 (リヒター規模 7)
付加仕様
- Heating Line / UVIR
- High Temp Sensor/Leak Detector
- Lamp
